CPUから速度の遅い周辺メモリへのアクセスを極力減らし，高速処理を実現するためにCPU内部に設けられた高速メモリ．演算に使うデータやプログラム・コードを記録しておき，CPU内部だけで高速処理を行えるようにする．キャッシュ・サイズが大きいと，キャッシュのヒット率は上がるが，内部キャッシュを増加すると，ダイ・サイズが大きくなり，製造コストが大きくなる．
　おもにCPU内部に置かれたキャッシュ・メモリを指す．容量的には数K〜数10Kバイト程度と少ないが，CPUの内部処理速度と同じ速度で動作するので高速である．