Last Update 2022/07/27
スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまで
アナログウェア No.13
半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ
B5判 80ページ
【直接販売商品】
定価880円(税込)
2020年11月1日発行
好評発売中！
特集
スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまで
半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ
スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまで
半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ
目 次
スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまで
半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ
第1部 MEMSの利用状況
自動車やスマートホンなどに使われる
第1章 量産タイプのMEMSの利用状況
IT機器，安全，医療/健康関連などで使われる
第2章 量産/高付加価値タイプのMEMSの利用状況
インフラ保全，製造/検査/科学機器などで使われる
第3章 高付加価値タイプのMEMSの利用状況
第2部 MEMSの製作技術
パターニングとエッチングから堆積，接合まで
第1章 MEMS製作の基本プロセス
LSIウェハ上への製作とパッケージング
第2章 MEMSの組み合わせプロセス
ワイヤレス通信システム用のMEMSを例にして
第3章 転写による集積化MEMSの製作
試作から製品開発までを高効率化するために
第4章 MEMSのオープン・コラボレーション
スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまで
半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ
第1部 MEMSの利用状況
自動車やスマートホンなどに使われる
第1章 量産タイプのMEMSの利用状況
IT機器，安全，医療/健康関連などで使われる
第2章 量産/高付加価値タイプのMEMSの利用状況
インフラ保全，製造/検査/科学機器などで使われる
第3章 高付加価値タイプのMEMSの利用状況
第2部 MEMSの製作技術
パターニングとエッチングから堆積，接合まで
第1章 MEMS製作の基本プロセス
LSIウェハ上への製作とパッケージング
第2章 MEMSの組み合わせプロセス
ワイヤレス通信システム用のMEMSを例にして
第3章 転写による集積化MEMSの製作
試作から製品開発までを高効率化するために
第4章 MEMSのオープン・コラボレーション